上海光机所在干涉仪波前校准方法研究方面取得进展

博易大师7月22日电，中国科学院上海光学精密机械研究所高端光电装备部研究团队近期在干涉仪测试的波前校准方法研究方面取得进展。相关研究成果以“High precision wavefront correction method ininterferometer testing”为题发表于Optics Express。本项工作中，研究团队针对斐索干涉仪测试中波前误差与实际表面误差之间的差异，提出了一种新的高精度光学表面波前校正方法。主要内容包括光学表面函数参数拟合、横向失真校正、错位误差消除和凹陷表面误差计算。并从函数参数拟合、射线追踪、插值等方面对该方法的误差进行了深入分析。零位测试配置中离轴抛物面镜的波前校准证明了该方法的有效性。结果显示，实验产生的环形误差显著减小，离轴方向误差从0.23λ提高到0.05λ（λ=632.8nm），非球面偏离的PV超过8.5mm。该研究在高精度光学元件检测过程中有重要意义。